對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析,通過(guò)本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏,確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示,中國(guó)特種功能電子氣體市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng),僅2016年,中國(guó)特種電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是,從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國(guó)家占據(jù)較好的地位。






氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類(lèi)別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過(guò)空氣分離設(shè)備制造的普通級(jí)的氧氣和氮?dú)狻⒔?jīng)過(guò)焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來(lái)的普通純度的其它種類(lèi)氣體。特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞,是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類(lèi)雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無(wú)法去除,本公司經(jīng)過(guò)多年潛心研究和多項(xiàng)實(shí)驗(yàn),研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無(wú)法除去的技術(shù)難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。

特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門(mén)泄漏等造成安全隱患,存放場(chǎng)地需平坦,操作需謹(jǐn)慎、輕柔;并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅(jiān)固位置。特種氣體的重要性:正是因?yàn)殡娮託怏w在集成電路制造中的使用量大,應(yīng)用范圍廣的特點(diǎn)。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽(yù)為集成電路制造中的“血液”。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類(lèi),電子特種氣體(簡(jiǎn)稱(chēng)電子特氣)是特種氣體的 一個(gè)重要分支,是超大規(guī)模集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。

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